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TEL Pro V-i可按300mm产品组及完整后缀匹配二手机，模块和曝光机接口决定实际流程。原厂联合介绍的Pro V平台能力供选型参考，V-i独立配置仍需逐项确认。
LITHIUS Pro V-i的采购对象应落实到完整机型。平台归入原厂Pro V产品组，晶圆搬送与工艺单元配合完成光刻胶处理。
对于既有V-i产线，原有软件、曝光机接口和温控配置是衔接重点。设备外观与同组机型相似，不能代替模块和版本核对。
我们单列V-i提供信息，不将其他Pro后缀的吞吐量、模块数或工艺节点直接并入本机。
TEL LITHIUS Pro™ V-i涂胶显影机核心信息
| 项目 | 产品信息 |
|---|---|
| 品牌 | Tokyo Electron |
| 型号 | CLEAN TRACK™ LITHIUS Pro™ V-i |
| 原厂产品组 | 与Pro V共同列示 |
| 平台晶圆 | 300mm产品组，实机版本需对应 |
| 工艺配置 | 按完整后缀及所装模块 |
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