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TEL LITHIUS Pro -i连接光刻胶处理与浸没式曝光配套，原厂以Pro产品组说明其平台方向。二手机型可按完整后缀、模块及控制环境匹配原有工艺。
Pro -i的设备配套需保留完整后缀。它属于LITHIUS Pro产品组，相关平台以紧凑布局、晶圆搬送和过程控制衔接涂胶显影。
实际可执行的浸没式相关流程，取决于所装工艺单元和曝光机接口。相应温控、涂布及显影程序需要与材料共同验证。
本项按独立型号保留，便于已有Pro -i设备的客户对应机台和附件。
TEL LITHIUS Pro™ -i涂胶显影机核心信息
| 项目 | 产品信息 |
|---|---|
| 制造商 | Tokyo Electron |
| 型号 | CLEAN TRACK™ LITHIUS Pro™ -i |
| 原厂列示 | 与LITHIUS Pro™共同介绍 |
| 平台特点 | 小占地、搬送及工艺模块协同 |
| 工艺方向 | 浸没式光刻相关配置 |
| 参数范围 | 后缀专属规格需对应实机或独立规格书 |
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