早上好 欢迎来到广东芯灵实业有限公司官方网站！
芯灵，为贴片机而生
贴片机一站式解决方案引领者
0755-3317750224小时全球咨询热线电话
早上好 欢迎来到广东芯灵实业有限公司官方网站！
贴片机一站式解决方案引领者
0755-3317750224小时全球咨询热线电话
ACT12 SOD的工艺对象是旋涂介质材料。机台将涂布、烘烤和固化连接起来，形成低介电膜所需的处理路径。
不同有机、无机、混合和多孔材料需要专用单元匹配供液及热处理条件。平台的低氧高温热板可完成相应在线固化，减少流程对独立炉管的依赖。
材料与气氛配套
选择这款设备时，应明确目标SOD材料、溶剂和固化要求。供液通路、排气、热板及低氧环境需要协同配置，不能把普通ACT12光刻胶配方直接视作SOD固化工艺。
TEL ACT™12 SOD旋涂介质膜设备核心信息
| 项目 | 产品信息 |
|---|---|
| 制造商 | Tokyo Electron |
| 型号 | CLEAN TRACK™ ACT™12 SOD |
| 设备类别 | 旋涂介质膜处理设备 |
| 平台晶圆版本 | 200、300mm |
| 处理内容 | 涂布、烘烤、固化 |
| 材料类型 | 有机、无机、混合及多孔介质材料，按专用单元 |
| 热处理 | 低氧环境高温热板，可实现相应在线固化 |
联系我们
联系地址：深圳市宝安区新桥街道上寮社区上南上寮工业路18号汇聚新桥107创智园B座B201 咨询电话：17727597261 潘小姐 销售热线：0755-33177502电子邮箱：smt-sales3@gdxinling.cn
芯灵，为贴片机而生
贴片机一站式解决方案引领者
扫一扫 关注我们
扫码加微信咨询
