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ACT8与ACT12是TEL CLEAN TRACK™系列中的不同型号，按各自晶圆和模块配置选择。ACT12原厂列有200/300mm版本，两款可分别衔接涂胶、温控和显影任务。
ACT8与ACT12需要分别识别。ACT8在二手市场有200mm工艺配置，ACT12原厂则列有200、300mm平台版本；不能把括号中的两个名称当成完全相同的机台。
ACT8
光刻胶处理围绕实际涂布、热板、冷却和显影模块展开。旧机可能只带涂胶部分，也可能配置完整涂胶显影流程，供货时需要对应所装模块。
ACT12
平台支持与曝光设备联机，晶圆搬送衔接曝光前后处理。化学过滤和精密温控单元服务DUV工艺，具体模块组合随版本配置。
两款在本条分别介绍，待实机型号确定后，可进一步拆为各自独立产品页。
TEL ACT™8与ACT™12涂胶显影机核心信息
| 项目 | 产品信息 |
|---|---|
| 制造商 | Tokyo Electron |
| 独立型号 | ACT™8；ACT™12 |
| ACT8 | 常见200mm配置，需核对具体版本 |
| ACT12原厂平台 | 200、300mm版本 |
| 设备功能 | 光刻胶涂布、热处理、显影 |
| 配套区别 | 晶圆搬送、工艺模块及曝光机接口分别对应 |
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