早上好 欢迎来到广东芯灵实业有限公司官方网站！
芯灵，为贴片机而生
贴片机一站式解决方案引领者
0755-3317750224小时全球咨询热线电话
早上好 欢迎来到广东芯灵实业有限公司官方网站！
贴片机一站式解决方案引领者
0755-3317750224小时全球咨询热线电话
TEL 8500为氧化物干法刻蚀产品，公开成套设备有接触孔加工、SMIF装载和SECS通信记录，主机配合独立射频、真空和冷却单元运行。
8500的氧化物工艺包含接触孔加工，主机在介质层中完成图形开口。设备按成套结构运行，反应腔之外还连接射频、真空、冷却及电气辅助单元。
公开装机中的SMIF接口负责晶圆装载衔接，SECS负责设备通信；独立RF机柜与干泵分别承担供能和抽气。不同单元在照片中可能表现为不同柜体，但共同服务于刻蚀主机。
8500系列具有不同后缀和腔体配置。带终点监测的氧化物配置，可以通过反应信号辅助结束控制；PESC等具体版本另有独立工艺和气路记录。
TEL 8500核心信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 制造商 | Tokyo Electron |
| 产品型号 | 8500 / TE8500 |
| 工艺方向 | 氧化物及相关介质开口 |
| 应用记录 | 接触孔刻蚀 |
| 整机配置层次 | 主工艺腔、真空、射频及冷却等配套 |
| 本条配图 | 深色框架设备侧面与局部组件 |
联系我们
联系地址：深圳市宝安区新桥街道上寮社区上南上寮工业路18号汇聚新桥107创智园B座B201 咨询电话：17727597261 潘小姐 销售热线：0755-33177502电子邮箱：smt-sales3@gdxinling.cn
芯灵，为贴片机而生
贴片机一站式解决方案引领者
扫一扫 关注我们
扫码加微信咨询
