早上好 欢迎来到广东芯灵实业有限公司官方网站！
芯灵，为贴片机而生
贴片机一站式解决方案引领者
0755-3317750224小时全球咨询热线电话
早上好 欢迎来到广东芯灵实业有限公司官方网站！
贴片机一站式解决方案引领者
0755-3317750224小时全球咨询热线电话
TEL TE8500具有氧化物及接触孔刻蚀应用，整机配套真空泵、射频机柜、冷却与电气单元；PESC等装机版本包含光学终点配置。
TE8500是TEL的氧化物干法刻蚀设备，Contact Etch接触孔加工是其具体应用之一。主机承担介质反应，独立辅助单元完成真空、射频和冷却等任务。
成套设备记录包含干泵、RF机柜、冷却机和电气机柜。部分整机还配有SMIF装载接口及SECS通信，这些配置把加工主机与晶圆装载、设备通信和厂务配套连接起来。
TE8500存在ATC、ESC、PESC等不同标识的设备记录。PESC配置有单腔氧化物刻蚀及终点监测应用，气路记录包括CF₄、CHF₃和He；这些属于具体版本的工艺背景。
8500的整机特点是介质工艺主机与独立配套组成成套设备，实际后缀和模块配置决定具体加工条件。
TEL 8500核心信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 品牌 | Tokyo Electron / TEL |
| 型号名称 | 8500 / TE8500 |
| 公开装机工艺 | 氧化物刻蚀、接触孔加工 |
| 整机组成 | 工艺主机、真空、射频及配套单元 |
| 版本背景 | 存在ATC、ESC、PESC等不同标识 |
| 本条配图 | 浅色柜体外观，单元身份另行对应 |
联系我们
联系地址：深圳市宝安区新桥街道上寮社区上南上寮工业路18号汇聚新桥107创智园B座B201 咨询电话：17727597261 潘小姐 销售热线：0755-33177502电子邮箱：smt-sales3@gdxinling.cn
芯灵，为贴片机而生
贴片机一站式解决方案引领者
扫一扫 关注我们
扫码加微信咨询
