早上好 欢迎来到广东芯灵实业有限公司官方网站！
芯灵，为贴片机而生
贴片机一站式解决方案引领者
0755-3317750224小时全球咨询热线电话
早上好 欢迎来到广东芯灵实业有限公司官方网站！
贴片机一站式解决方案引领者
0755-3317750224小时全球咨询热线电话
LAM 490为多晶硅及氮化硅等离子刻蚀机，发送与接收端料盒配合自动运行，控制界面区分生产、配方和维护，待机维持腔体真空。
490的主要工艺对象是多晶硅和氮化硅薄膜，晶圆通过等离子干法刻蚀完成目标膜层去除。运行由预先载入的工艺程序控制。
设备在发送端放置待处理晶圆料盒，在接收端放置空料盒。程序和参数载入后，启动自动流程，晶圆逐片完成处理并进入接收端。发送、接收和配方运行组成了它的基本生产方式。
控制界面区分Production、Recipe和Service三种模式，分别承担生产运行、配方操作和维护。设备闲置时保持反应腔真空，通过压力检查及相应阀门动作维持待机状态。
断电后的恢复还涉及控制器初始化。长时间断电造成存储信息丢失时，系统通过主模块重新装载和初始化；正常运行时则按既定程序组织后续晶圆处理。
LAM 490核心信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 制造商 | Lam Research |
| 型号 | 490 |
| 主要材料 | 多晶硅、氮化硅 |
| 晶圆流转 | 发送料盒至接收料盒 |
| 操作模式 | Production / Recipe / Service |
| 待机特点 | 维持反应腔真空 |
联系我们
联系地址：深圳市宝安区新桥街道上寮社区上南上寮工业路18号汇聚新桥107创智园B座B201 咨询电话：17727597261 潘小姐 销售热线：0755-33177502电子邮箱：smt-sales3@gdxinling.cn
芯灵，为贴片机而生
贴片机一站式解决方案引领者
扫一扫 关注我们
扫码加微信咨询
