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TCP 9600金属刻蚀机通过高密度等离子体与独立功率调节加工金属层，铝有Cl₂/BCl₃工艺、钛钨有SF₆工艺应用。
TCP 9600为金属薄膜建立独立的源功率和载片台功率控制。等离子体源的工作方式与ICP相近，铝和钛钨是这款机型具有实际应用的加工材料。
晶圆固定与热传递
公开使用配置包括静电吸附、水冷载片台和背面氦气。静电吸盘固定晶圆，氦气提供背面热耦合，载片台负责带走工艺热量。
铝与钛钨对应不同化学体系：前者有Cl₂/BCl₃路线，后者有SF₆路线。可调单色仪提供光学终点信号，配有DSQ模块的整机还可安排光刻胶去除。
9600的产品结构因此不只是金属反应腔，还包含功率、晶圆温控、终点监测及可选后处理模块。
LAM TCP 9600核心信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 主要方向 | 铝、钛钨金属层刻蚀 |
| 等离子体源 | TCP，源/载片台功率独立调节 |
| 公开装机固定方式 | 静电吸盘 |
| 公开装机热控 | 水冷载片台、背面氦气 |
| 化学应用 | 铝Cl₂/BCl₃；钛钨SF₆ |
| 终点技术 | 可调光学单色仪 |
| 可选配套背景 | DSQ去胶模块，依实际整机配置 |
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