AG Heatpulse 8800二手快速退火炉

AG Heatpulse 8800快速退火炉按单片进腔，结合灯源加热、闭环温控和冷壁冷却。可选陶瓷屏蔽与ez-DTC直接热电偶控制，减弱背面辐射差异对测温的影响。

产品详情

AG Heatpulse 8800按单片执行晶圆快速热处理，灯源、测温反馈及冷壁冷却共同构成温度控制过程。晶圆自动进入处理腔，在规定气氛中执行配方，完成后卸出。

热区之外，测温形式也是8800的配置特点

晶圆背面膜层不同，光学测温面对的辐射条件也会变化。8800平台提供过Ceramic Shield陶瓷屏蔽选项，屏蔽件位于晶圆下方，用来减弱灯辐射及背面发射率变化对测温的影响。

陶瓷屏蔽还可与ez-DTC直接热电偶控制组合。高温计、热电偶与屏蔽件的不同组合，构成这一平台的温控版本差异。

气氛管理选项

平台还有氮气幕与原位氧监测升级方向。氮气幕参与局部气氛管理，原位氧监测提供氧含量信息；对于需要关注残氧的配方，这些功能与工艺气路一起组成使用条件。

AG Associates Heatpulse 8800单片快速退火系统

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