DNS LA820二手灯式退火设备

二手DNS LA-820快速退火炉，红外灯提供热量，气氛与温度过程配合材料活化。设备由灯式热区、测温及气路等部分组成，可按目标材料和原有退火任务询价。

产品详情

DNS LA-820通过红外灯进行热处理，配方规定晶圆或材料经历的温度和保持时间。它的加热方式与工艺目标相配合，适用于相应半导体材料退火及活化任务。

注入后的材料需要经过对应热处理获得所需状态。LA-820可在相应气氛下执行温度保持，材料本身、膜层结构和配方持续时间共同决定实际处理条件。

灯式热区的组成

灯源承担能量输入，腔内表面和石英部件参与热量传递环境，测温信号用于控制温度。气路建立规定处理气氛，控制部分将这些条件组织为可执行的配方。

二手DNS LA820半导体红外灯热处理系统

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