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注入退火、硅化物反应和BPSG回流，对温度配方有不同要求。二手AG 8108通过自动搬片与单片灯式处理衔接这些应用，适合已有Heatpulse工艺基础的产线采购。
需要采购注入后退火、硅化物形成或BPSG回流设备时，可以将AG 8108列入二手RTP设备比较范围。这些均有该型号的历史应用记录，实际设备选配仍需与目标制程对应。
8108按单片进行处理，晶圆从标准晶圆盒自动进入处理腔，执行温度配方后卸出。灯源提供加热能量，测温反馈参与闭环调节，冷壁系统承担冷却。机械搬送与热处理系统共同构成自动运行过程。
8108的历史应用方向
| 处理任务 | 工艺关注内容 |
|---|---|
| 注入后退火 | 掺杂处理与注入后的材料状态 |
| 钛硅化物形成 | 金属和硅的界面反应 |
| BPSG回流 | 薄膜流动及表面形态 |
| 介质形成 | 对应薄膜的形成过程 |
这些任务对温度步骤、气体环境和评价结果的要求不同，原有制程用途应成为二手设备配置介绍的一部分。
我们供应二手AG 8108。原工艺配方、测温形式与晶圆承载方式，可作为同型号替换的比较基础；不同应用所需气路单独对应。
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