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LAM RAINBOW为单片平行板等离子刻蚀系列，4400、4500、4600及4700系列分别具有硅薄膜、氧化物、金属和钨加工定位。
RAINBOW以单片平行板等离子刻蚀为主要技术结构，不同型号分别对应不同材料工序。4400系列主要处理多晶硅，4500系列主要处理氧化物，4600系列对应金属，4700系列具有钨刻蚀定位。
4420、4520和4720是其中具有明确工艺资料的机型。4420承担硅薄膜及氮化硅图形加工；4520以低压氧化物和介质开口为主；4720有钨膜及钨相关结构加工应用。
这类平台把单片传送、平行板反应腔和工艺控制组合起来。不同型号的电极、温度控制、晶圆固定及终点配置随材料工艺变化，形成同一系列下不同的加工产品。
RAINBOW系列因此适合按材料区分，而非把全部功能集中到一台通用设备。具体机型的腔体和控制特点，在各型号产品中分别展开。
LAM RAINBOW核心信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 品牌 | Lam Research |
| 产品层级 | RAINBOW系列 |
| 4420方向 | 多晶硅、氮化硅 |
| 4520方向 | 氧化物及介质刻蚀 |
| 4720方向 | 钨刻蚀 |
| 平台技术背景 | 单片、平行板等离子刻蚀 |
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