二手KE DD7460卧式扩散炉

晶舟水平进出、晶圆沿轴向排列，是KE DD7460卧式扩散炉的结构特点。二手设备按炉次完成热处理，晶舟推进、温控和供气共同组织进炉、保温及出炉过程。

产品详情

KE DD7460保留卧式炉管的装载方式：晶圆装入晶舟，晶舟从炉口沿水平方向进入热处理区，多片晶圆在同一炉次内完成处理。

炉管沿轴向形成工艺区域，晶舟推进机构负责送入和退出。晶圆在炉内的位置与装载长度相联系，炉口至有效热区之间的距离也参与进出炉过程。对于已有卧式炉的产线，这种结构能够与原有晶舟装卸方式直接对照。

进出炉与保温组成完整周期

DD7460的热处理过程包括晶舟推进、热区内稳定与保温，以及处理后的退出和冷却。温度设定之外，推进位置和进出炉节奏同样属于工艺运行内容。

不同用途的工艺管配有相应供气与反应部件。晶舟与推进机构负责输送，高温部件和温控部分负责炉内温度，工艺气路建立对应的处理气氛。

KE DD7460卧式半导体扩散炉

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