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国际电气VR70是四探针方阻测量机型,适合导电层和扩散层的电学检查。方阻数值与测点位置结合,可为硅片工艺比较提供依据,二手机按测量模块及探针配置匹配。
KE VR70测得的是方块电阻,单位通常为Ω/□。硅片扩散掺杂工艺中,可用同一测量方法比较不同处理条件形成的导电层。
VR-70的四探针测量已有公开专利实验记录。实验中可在样品不同位置取点并计算平均值,但取点数量属于试验方案,不是设备固定上限。
我们供应二手VR70。探针接触、测量模块和样品承载需与实际材料及晶圆规格匹配。
KE VR70方阻测量仪核心信息
| 项目 | 参数或配置 |
|---|---|
| 品牌标识 | KE / Kokusai Electric |
| 型号 | VR70 / VR-70 |
| 测量方法 | 四探针法 |
| 主要结果 | 方块电阻(Ω/□) |
| 公开应用 | 硅基底扩散掺杂层的方阻测量 |
| 配置项目 | 探针头、测量模块及样品承载 |

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