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国际电气VR70晶圆方阻测量仪

国际电气VR70晶圆方阻测量仪

国际电气VR70是四探针方阻测量机型,适合导电层和扩散层的电学检查。方阻数值与测点位置结合,可为硅片工艺比较提供依据,二手机按测量模块及探针配置匹配。

产品详情

KE VR70测得的是方块电阻,单位通常为Ω/□。硅片扩散掺杂工艺中,可用同一测量方法比较不同处理条件形成的导电层。

VR-70的四探针测量已有公开专利实验记录。实验中可在样品不同位置取点并计算平均值,但取点数量属于试验方案,不是设备固定上限。

我们供应二手VR70。探针接触、测量模块和样品承载需与实际材料及晶圆规格匹配。

KE VR70方阻测量仪核心信息

项目参数或配置
品牌标识KE / Kokusai Electric
型号VR70 / VR-70
测量方法四探针法
主要结果方块电阻(Ω/□)
公开应用硅基底扩散掺杂层的方阻测量
配置项目探针头、测量模块及样品承载
KE VR70方阻测量仪整机

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