KE DD803二手立式扩散炉_晶舟式热处理

KE DD803立式扩散炉通过晶舟集中处理晶圆，多片晶圆分层排列后整体进入热区。设备以批次组织退火，装载、保温和出炉相互衔接，可按晶圆规格与原有退火任务询价。

产品详情

多片晶圆需要在同一气氛中保温处理时，立式晶舟结构能够将这些晶圆集中在一个炉次内完成。KE DD803就是按这种方式组织批量晶圆热处理的设备，退火是其应用方向之一。

晶圆先装入晶舟，在沿炉体高度分布的片位上排列，再整体进入炉内。热处理期间，温度条件和工艺气氛作用于整舟晶圆；处理结束后，晶舟退出，进入后续卸载安排。

整炉处理的特点

DD803的生产周期包含装载、气氛准备、保温与出炉。与逐片处理的RTP设备相比，批量炉的运行围绕整舟展开，装片量和完整炉次时间共同影响生产安排。

晶舟负责晶圆承载，炉管建立处理空间，高温及温控部件维持热条件，气路建立规定环境。这些组成共同完成一炉晶圆的退火过程。

KE DD803晶舟式立式热处理设备

热门技术视频推荐

联系我们

联系地址：深圳市宝安区新桥街道上寮社区上南上寮工业路18号汇聚新桥107创智园B座B201 咨询电话：17727597261 潘小姐 销售热线：0755-33177502电子邮箱：smt-sales3@gdxinling.cn

芯灵，为贴片机而生

贴片机一站式解决方案引领者

扫一扫关注我们

扫码加微信咨询