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双盘端站、分析后加速和最高160keV单价离子能量，是NV10-160的核心信息。EATON平台有不同夹持形式的承载盘，晶圆背面接触参与注入散热，适配批量高剂量处理。
NV10系列的承载盘既带动晶圆完成扫描，也承担夹持与背面传热。全环夹持、两点夹持等盘型在晶圆支撑和接触方式上有所区别，需要结合晶圆厚度及背面状态选择。
注入产生的热量通过晶圆背面接触传向盘体。接触层和夹持状态会影响传热，对带光刻胶的高剂量工序尤其重要。
NV10-160的端站由两只圆盘交替配合一个注入腔工作。一盘接受注入时，另一盘可完成装卸；批次结束后，交换臂将两盘切换位置。
束线在质量分析后增加加速部分，使单价离子能量能力最高达到160keV。我们供应二手EATON NV10-160，承载盘、交换机构及对应部件按具体机台配套。
NV10-160双盘及能量结构数据
| 项目 | 产品信息 |
|---|---|
| 品牌 | EATON / Eaton Nova |
| 型号 | NV10-160 / NV-10-160 |
| 设备类别 | 大束流离子注入机 |
| 单价离子能量能力 | 最高160keV |
| 加速结构 | 质量分析后加速 |
| 端站结构 | 两只圆盘交替配合一只注入腔 |
| 圆盘交换 | 交换臂切换装卸位与注入位 |
| 承载形式 | 全环夹持、两点夹持等盘型，按配置区分 |
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