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半导体设备与配件

DNS SCW60光刻胶匀胶机

DNS SCW60光刻胶匀胶机

SCW60二手设备可按光刻胶涂布任务匹配,关键配置包括晶圆承载、供液和温控。显影功能及晶圆规格仍需完整型号或设备清单支持,暂不发布推断参数。

产品详情

DNS SCW60围绕晶圆涂胶配套供货。光刻胶通过供液和旋涂形成膜层,工艺结果与所装杯体、喷嘴和温控单元有关。

SCW60不同后缀的晶圆承载存在差异。我们保留清单名称提供机台信息,显影部分单独按实机确认,不将其他SDW型号的功能直接写入SCW60。

DNS SCW60涂胶设备核心信息

项目产品信息
制造商DNS / Dainippon Screen
清单型号SCW60
已见公开类别SC-W60相关型号多列Coater
中文暂定类别涂胶机
显影能力需核对是否另含SDW等显影单元
二手DNS SCW60涂胶设备

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