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SCW60二手设备可按光刻胶涂布任务匹配,关键配置包括晶圆承载、供液和温控。显影功能及晶圆规格仍需完整型号或设备清单支持,暂不发布推断参数。
DNS SCW60围绕晶圆涂胶配套供货。光刻胶通过供液和旋涂形成膜层,工艺结果与所装杯体、喷嘴和温控单元有关。
SCW60不同后缀的晶圆承载存在差异。我们保留清单名称提供机台信息,显影部分单独按实机确认,不将其他SDW型号的功能直接写入SCW60。
DNS SCW60涂胶设备核心信息
| 项目 | 产品信息 |
|---|---|
| 制造商 | DNS / Dainippon Screen |
| 清单型号 | SCW60 |
| 已见公开类别 | SC-W60相关型号多列Coater |
| 中文暂定类别 | 涂胶机 |
| 显影能力 | 需核对是否另含SDW等显影单元 |

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