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SKW80属于DNS光刻胶处理机型,二手配套可核对涂胶、显影及温控单元。所需晶圆规格和模块组合应落实到完整型号,便于与现有配方衔接。
SKW80的产品配套应从模块组合看起。涂胶杯、显影单元与热板等部件对应不同处理步骤,原有光刻胶配方需要与实际单元相匹配。
我们提供二手DNS SKW80机台信息,可结合原有晶圆承载和所需模块确认供货范围。具体尺寸、转速及处理能力需要由对应铭牌和规格书补充。
DNS SKW80涂胶显影机核心信息
| 项目 | 产品信息 |
|---|---|
| 品牌 | DNS / Dainippon Screen |
| 清单型号 | SKW80 |
| 产品类别 | 涂胶显影轨道设备 |
| 模块范围 | 涂布、显影及温控按实机配置 |
| 完整后缀 | 需对应铭牌,不能直接等同SKW-80A-BVP |
| 供货 | 二手 |

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