AST SHS 2800二手快速退火炉

AST SHS 2800快速退火炉采用灯式热处理，应用方向包括RTA退火、RTO快速热氧化及硅化物处理。不同工艺版本匹配对应气路和热区，以完整温度配方完成晶圆处理。

产品详情

AST SHS 2800以快速加热和冷却完成晶圆热处理，工艺用途包括相应的RTA退火、RTO快速热氧化及硅化物处理。不同任务使用对应气路和热区版本，温度配方围绕所需材料反应展开。

三类工艺的处理内容

灯式热源向晶圆提供能量，温控部分组织升温、保持和冷却步骤。相同的峰值温度配合不同时间与气氛，会形成不同的工艺过程，因此设备以完整配方执行处理。

SHS 2800也有硅晶圆短时高温表面处理的应用。此类任务关注晶圆表面状态及热过程，使用与之匹配的供气和温控配置。

AST SHS 2800晶圆快速热退火设备

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