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二手10GSD-A-80是SEN盘式批量注入机型,多片晶圆在同一承载盘上完成大束流处理。晶圆尺寸与盘位、夹持和搬送部件对应,可按完整型号及原有配置询价。
SEN 10GSD-A-80以盘式端站成批处理晶圆。承载盘固定各片晶圆,并在注入时完成扫描,晶圆背面的接触部位承担热量传递。
这款设备按大束流离子注入机供货。晶圆规格需要与所装盘位、夹持件和搬送部件对应,主机型号及完整配套可结合设备清单核对。
10GSD-A-80基本产品信息
| 项目 | 产品信息 |
|---|---|
| 品牌标识 | SEN |
| 清单型号 | 10GSD-A-80 |
| 设备类别 | 大束流离子注入机 |
| 处理形式 | GSD盘式批量处理 |
| 晶圆承载 | 对应盘位及夹持件 |
| 供货状态 | 二手 |

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