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EATON NV-6200通过静电扫描完成中束流注入，早期离子源配置包含Freeman型热阴极源。平台有多价离子工艺应用，离子种类与电荷态需结合具体源型和束线条件选择。
NV-6200以静电扫描完成晶圆离子注入。扫描电场改变束流经过晶圆的位置，配合晶圆定位及入射角设置，形成所需掺杂区域。
该平台早期有Freeman型热阴极离子源配置，也有多价离子束的工艺应用。离子源提供目标离子，分析部分选择所需质量及电荷态；不同源型和升级配置会影响可用束流。
多价束的应用条件
多价离子在同一加速电压下能够获得更高能量。运行这类配方时，除能量设定外，还需控制所选电荷态的束流纯度，这使离子源能力和分析条件成为工艺匹配的重要部分。
NV-6200与后续NV-6200A、NV-6200AV应按完整型号区分。我们供应二手基础型号NV-6200，端站功能对应具体版本。
NV-6200扫描及离子源信息
| 项目 | 产品信息 |
|---|---|
| 品牌 | EATON / Eaton Nova |
| 型号 | NV-6200 |
| 国内常见简称 | ETN NV6200 |
| 束流类别 | 中束流 |
| 扫描方式 | 静电扫描 |
| 早期离子源配置 | Freeman型热阴极离子源 |
| 扩展应用 | 相应源型及束线条件下的多价离子注入 |
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