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SEN GSD-III 90以重新设计的紧凑束线配合GSD批量端站，完成晶圆大束流注入。该型号保留盘式处理方式，与后续低能量束流增强的III-90E分别匹配。
重新设计的束线使GSD-III 90具备较紧凑的布局，同时保留GSD批量处理方式。这是III-90在系列中的主要结构特点。
晶圆集中装在端站承载盘上完成注入，束线负责将目标离子送入处理区域。对于连续执行同类配方的工序，盘式端站按批组织晶圆，承载、扫描和冷却在处理过程中配合工作。
GSD-III 90之后还有III-90E等机型。III-90E另有低能量束流增强设计，因此二手选型时应保留完整型号后缀，分别匹配源型、束线和端站版本。
GSD-III 90束线及端站信息
| 项目 | 产品信息 |
|---|---|
| 品牌 | SEN |
| 型号写法 | GSD-III 90 / NV-GSD III-90 |
| 束流类别 | 大束流 |
| 结构特点 | 重新设计的紧凑束线 |
| 晶圆处理 | GSD盘式批量端站 |
| 型号区分 | III-90与III-90E分别对应 |
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