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最高60°连续可调倾角和腔内方位调整，是E220的端站特点。VARIAN中束流平台通过混合扫描覆盖晶圆，磁场平行化控制束流方向，晶圆能力覆盖200mm版本。
最高60°的连续可调倾角、腔内步进方位调整和200mm晶圆能力，使E220能够覆盖不同入射方向的中束流工序。
它把扫描任务分成两个方向：横向由静电场改变束流位置，纵向由晶圆机械运动完成。空气轴承机构承担晶圆扫描，磁场则将横向扫描后的束流平行化。
这一结构同时处理晶圆覆盖范围与离子入射方向。对于有角度要求的掺杂配方，扫描负责分布，平行化约束束流方向，端站再建立所需倾角和方位。
我们供应二手VARIAN E220，具体晶圆尺寸与角度功能对应机台所装卡盘及搬送版本。
E220混合扫描及晶圆角度数据
| 项目 | 产品信息 |
|---|---|
| 品牌与型号 | VARIAN E220 |
| 束流类别 | 中束流 |
| 水平方向 | 束流静电扫描 |
| 平行化结构 | 磁场平行化 |
| 垂直方向 | 空气轴承机构驱动晶圆机械扫描 |
| 倾角能力 | 平台最高60°，连续可调 |
| 方位控制 | 腔内步进式方位调整 |
| 晶圆能力 | 平台支持200mm，承载版本需对应 |
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