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Episode 2 DMR支持300mm晶圆，双片同步传送与DMR双片沉积模块相结合，开展ASFD TiN工艺。设备兼顾占地与处理效率，并集成运行数据采集和分析功能。
两片晶圆同时传送、同时沉积，是Episode 2 DMR提高处理能力的主要方式。它将双片搬运平台与DMR反应模块配合，在300mm晶圆工艺中兼顾设备占地和加工节拍。
TEL Episode™ 2 DMR核心数据
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 品牌及型号 | TEL Episode™ 2 DMR |
| 晶圆规格 | 300mm |
| 搬运特点 | 两片晶圆同步传送 |
| DMR模块 | 可同时处理两片晶圆 |
| 原厂模块数量范围 | 1—4个 |
| 工艺 | ASFD TiN |
| 工艺方向 | 电容电极、字线TiN、阻挡金属层 |
双片模块与TiN薄膜控制
DMR即Duo Matched Reactor，可在同一模块内对两片晶圆执行沉积。平台的ASFD TiN工艺覆盖电容电极、字线及阻挡金属层等方向，需要在复杂结构中兼顾覆盖与膜层品质。
设备延续Trias e+ EX-II相关产品的工艺基础，并针对器件三维堆叠和高深宽比结构继续扩展。原厂列出的模块数量范围为1至4个，实际整机按安装组合确定。
Episode 2 DMR还提供设备运行数据采集与分析支持，使腔室状态和生产运行能够纳入同一管理流程。双片传送与DMR沉积协同，构成平台的主要结构特点。
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