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Episode 1通过多模块集成安排晶圆预处理和薄膜沉积，可配置OPTCURE预清洗与ORTAS钛沉积模块。了解300mm平台的腔室组合、连续工艺和运行数据管理特点。
Episode 1的特点是将多个工艺步骤集中到一套300mm晶圆传送平台上。最多8个模块可以承担不同任务，晶圆按顺序在相关模块间流转，完成预处理及后续薄膜沉积。
TEL Episode™ 1核心数据
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 品牌型号 | TEL Episode™ 1 |
| 晶圆规格 | 300mm |
| 平台类型 | 单片薄膜沉积 |
| 原厂模块数量范围 | 1—8个 |
| 可配置模块 | OPTCURE™预清洗、ORTAS™钛沉积 |
| 数据功能 | 设备数据采集、边缘数据处理及分析支持 |
从界面条件开始管理接触工艺
可选的OPTCURE负责原生氧化层去除，ORTAS负责钛沉积，两者的组合对应先进逻辑器件对接触界面的要求。预处理与沉积在同一平台衔接，有助于把表面状态与后续膜层作为一条流程管理。
除了反应模块，Episode 1还配备更丰富的设备数据收集和边缘分析功能。运行、可用性与能源等信息能够形成管理依据。模块数量与工艺组合可按实际流程匹配，使表面处理和薄膜生长连续衔接。
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