早上好 欢迎来到广东芯灵实业有限公司官方网站！
芯灵，为贴片机而生
贴片机一站式解决方案引领者
0755-3317750224小时全球咨询热线电话
早上好 欢迎来到广东芯灵实业有限公司官方网站！
贴片机一站式解决方案引领者
0755-3317750224小时全球咨询热线电话
EVAROS将300mm大批量处理与动态温控结合，通过多温区加热器缩短升降温及稳定时间。了解东京电子这款热处理沉积平台的200片容量、排气设计和控制功能。
在批式沉积中，增加晶圆数量会同时增加温度均匀、气体输送和搬运管理的难度。东京电子EVAROS围绕这些环节重新组织300mm批处理平台，原厂公布的最大容量为单批200片。
TEL EVAROS™核心数据
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 制造商及型号 | TEL EVAROS™ |
| 晶圆尺寸 | 300mm |
| 原厂最大批容量 | 200片 |
| 热控结构 | 多温区控制加热器 |
| 排气设计 | 扩大排气通道，提高通导能力 |
| 当前公开工艺 | ALD SiO₂、ALD SiN、多晶硅 |
| 搬运功能 | 晶圆搬运机构自动位置调整 |
温控与排气同步改进
新型多温区加热器强化升温、降温及稳定阶段的响应，减少等待温度平衡所占的时间。排气管路加大后，反应物和清扫气体的流转更顺畅，有利于ALD过程控制。
EVAROS已公开的工艺包括ALD SiO₂、ALD SiN和多晶硅；高k列在后续工艺扩展方向中。设备还引入晶圆搬运位置自动调整以及可扩展控制器，在安装、维护与运行管理方面配合大批容量设计。对于300mm热处理与沉积需求，可围绕这套平台的炉内控制和处理规模开展配置对接。
联系我们
联系地址：深圳市宝安区新桥街道上寮社区上南上寮工业路18号汇聚新桥107创智园B座B201 咨询电话：17727597261 潘小姐 销售热线：0755-33177502电子邮箱：smt-sales3@gdxinling.cn
芯灵，为贴片机而生
贴片机一站式解决方案引领者
扫一扫 关注我们
扫码加微信咨询