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Novellus VECTOR Express是300mm PECVD设备，多工位顺序处理结合SmartSoak，将晶圆预热与沉积分开管理，改善沉积起始温度的一致性，提供二手整机。
晶圆刚进入反应区时的温度，会影响薄膜沉积的起始状态。VECTOR Express通过SmartSoak管理预热，把晶圆升温与薄膜沉积分开安排，使晶圆在进入沉积步骤前获得更一致的温度条件。
Novellus VECTOR Express™核心数据
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 制造商 | Novellus |
| 型号 | VECTOR Express™ |
| 晶圆规格 | 300mm |
| 沉积工艺 | PECVD |
| 工位组织 | MSSP多工位顺序处理 |
| 温度管理 | SmartSoak™，预热与沉积分开控制 |
多工位顺序处理与SmartSoak
这项功能建立在VECTOR平台的MSSP多工位顺序处理结构上。晶圆随工艺顺序在不同工位间衔接，预热不必完全占据沉积步骤的时间，设备由此兼顾热稳定过程与加工节拍。
VECTOR Express属于300mm PECVD介质膜沉积设备。TEOS氧化膜与硅烷相关氧化膜，是原厂展示温度及膜厚控制表现的工艺实例。Express版本还改进了机械传送和晶圆位置管理，使温度、沉积与搬运共同构成其设备特点。
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