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PROMETRIX RS50通过四探针测量晶圆方阻，多位置数据可反映片内电学分布。探针头需结合金属膜、掺杂层及表面状态选择，适合薄膜导电性与工艺均匀性检查。
RS50的重点是把方阻数值与晶圆位置联系起来。通过多个位置的四探针测量，可以比较片内导电性差异，为金属膜或掺杂层的工艺检查提供数据。
四探针测量中，电流激励与电压读取分别通过不同探针完成。方阻结果通常以Ω/□表示，多点测量进一步形成分布信息。
探针头与样品的匹配
不同探针头的针尖、间距和压力有差异。金属膜、扩散层或高阻表面对接触条件的要求不同，因此RS50配套需要确定实际探针头，量程和重复性也应按对应配置与标准片测试。
PROMETRIX RS50方阻测量仪核心信息
| 项目 | 参数或配置 |
|---|---|
| 品牌 | Prometrix |
| 型号 | RS50 / RS-50 |
| 测量方式 | 接触式四探针 |
| 主要结果 | 方块电阻，通常以Ω/□表示 |
| 平台功能 | 多点测量及电阻分布分析 |
| 关键配套 | 探针头、承载台、测量及控制部分 |
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