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S-8620和S-8820以电子束成像完成晶圆关键尺寸测量，日立原厂资料列出自动对焦及图像处理测长。两型号的晶圆尺寸不同，选型时分别对应承载与搬送配置。
日立S-8620、S-8820把电子显微成像与尺寸读数结合。设备先对准晶圆和测量区域，再通过电子图像识别边缘，完成线宽等关键尺寸检查。
它们的共同特点包括低电压成像、SE电子源、实时自动对焦及图像处理测长。原厂资料列有700～1300V加速电压，以及800V条件下5nm二次电子像分辨率。
晶圆范围需要分开看：1995年资料中的S-8620为5、6英寸，S-8820为6、8英寸。二手配套应落实到完整型号和所装搬送版本。
HITACHI S-8620与S-8820 CD-SEM线宽测量仪核心信息
| 项目 | 参数或配置 |
|---|---|
| 品牌 | Hitachi（日立） |
| 独立型号 | S-8620；S-8820 |
| 测量类别 | 关键尺寸扫描电子显微镜（CD-SEM） |
| S-8620晶圆范围 | 原厂1995年资料为5、6英寸 |
| S-8820晶圆范围 | 原厂1995年资料为6、8英寸 |
| 二次电子像分辨率 | 两型号均为5nm，800V条件 |
| 测长重复性 | 5nm，10次测量、3σ条件 |
| 原厂加速电压 | 700～1300V |
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