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ASMPT ORCAS晶圆面板压缩塑封机

ASMPT ORCAS晶圆面板压缩塑封机

ASMPTORCAS支持晶圆与面板压缩成形,同一压机可配芯片朝上或朝下工艺,材料包括液态及颗粒环氧树脂,公开尺寸覆盖12英寸及340mm方形工件。

产品详情

芯片朝上或朝下,可在 ORCAS 的同一压机中按对应配置安排。这种可选择的成形方向,配合晶圆和面板压缩塑封,用于扇出、扇入等晶圆级及面板级包封。

液态和颗粒环氧树脂分别通过相应供料机构进入成形过程。公开尺寸包括最高 12 英寸晶圆以及 340 mm 方形工件,具体工件通过相应支撑与模具完成成形。

ORCAS 配有机器人输送,并可配置多压机。输送、供料与压机共同组成晶圆和面板的包封流程。

ASMPT ORCAS技术数据

项目数据
产品型号ASMPT ORCAS
成形方式晶圆及面板压缩成形
晶圆规格最高12英寸
方形工件最高340×340mm
材料液态或颗粒环氧树脂
成形方向芯片朝上或朝下,按配置实现
工件输送机器人输送
压机组合可配置多压机

ASMPT ORCAS塑封机横向机身

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