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半导体设备与配件

BESI Datacon 2200 evo advanced固晶机

BESI Datacon 2200 evo advanced固晶机

Datacon 2200 evo advanced以±3μm贴装精度结合多芯片装配,支持正装与倒装组合。平台可配置多种点胶方式、工具切换和高度测量,适合精密封装中的复杂贴装流程。

产品详情

2200 evo advanced把±3μm(3σ)的贴装精度与多芯片加工放在同一平台上。运动龙门、控制系统和视觉相机共同升级,使设备既能精细对位,也能处理一个封装内不同芯片、胶材和朝向的组合。

Datacon 2200 evo advanced核心数据

项目内容
型号Datacon 2200 evo advanced
原厂X/Y贴装精度±3μm @ 3σ
旋转贴装精度±0.07° @ 3σ
闭环贴装力0.5—25N
晶圆兼容范围4—12英寸,需相应供料配置
基板工作区域325×200mm
工具容量最多14种拾取工具/吸嘴、5种顶针工具
胶材组合单次流程最多3种胶材,需对应配置
可选功能加热贴装头、UV固化、3D及非接触高度测量

精度之外,还要安排多种工艺动作

平台最多可配置14种拾取工具或吸嘴及5种顶针工具,单次流程可组合3种胶材。不同芯片可以分别选择工具和点胶方式,正装与倒装也能按产品需求组合,减少在不同设备之间拆分流程。

点胶方案包括螺杆泵、时间压力、压电喷射和针转移,并可配置胶量控制。胶材、图形及点胶方法相配合,决定芯片放置前的粘接条件;0.5—25N闭环贴装力则管理接触过程。

原厂还提供高度测量、加热贴装头及UV固化选项,便于扩展不同材料和结构的加工。对于精密多芯片封装,advanced的产品特点是定位、工具、胶材和过程控制相互配合,而不只是单个精度数字。

BESI Datacon 2200 evo advanced固晶机橙色防护罩及操作屏

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