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TEL EXIM是300mm PVD平台，通过可扩展工艺模块和多阴极溅射源形成多层薄膜，重点控制膜层界面与成分，覆盖磁性隧道结等复杂堆叠结构的沉积需求。
多层薄膜的性能不仅由单层厚度决定，相邻膜层之间的界面和材料成分同样关键。EXIM通过多阴极溅射源及模块化PVD平台管理这些因素，适合层数较多、材料切换频繁的薄膜堆叠。
TEL EXIM™核心数据
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 品牌型号 | TEL EXIM™ |
| 晶圆尺寸 | 300mm |
| 沉积技术 | PVD溅射 |
| 溅射源 | 多阴极结构 |
| 平台组织 | 工艺模块与传送模块可扩展组合 |
| 代表工艺 | 磁性隧道结（MTJ）等多层膜堆叠 |
多层膜的界面与成分控制
STT-MRAM中的磁性隧道结，是原厂介绍的代表方向。此类结构由多层材料组合而成，部分堆叠超过25层；膜厚、成分和界面状态的细小变化，都可能影响最终器件表现。EXIM针对这些要求提供精细沉积与模块衔接能力。
工艺模块和传送模块可以组合、扩展，使研发阶段与生产阶段能够围绕不同薄膜结构配置平台。它属于300mm PVD设备，通过溅射源形成薄膜。我们提供二手EXIM设备，按阴极、靶材位置及安装模块说明具体工艺组合。
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