早上好 欢迎来到广东芯灵实业有限公司官方网站！
芯灵，为贴片机而生
贴片机一站式解决方案引领者
0755-3317750224小时全球咨询热线电话
早上好 欢迎来到广东芯灵实业有限公司官方网站！
贴片机一站式解决方案引领者
0755-3317750224小时全球咨询热线电话
SAMCO AD-230LP是带装载锁定室的等离子增强ALD设备，通过交替供源和表面反应控制薄膜生长，覆盖AlN、SiN及氧化物薄膜工艺方向，提供二手整机。
AD-230LP通过重复的供源、反应与清扫步骤逐步生长薄膜，并借助等离子体促进相关反应。它属于等离子增强原子层沉积设备，与连续供气生长薄膜的PECVD设备具有不同的工艺组织方式。
SAMCO AD-230LP核心数据
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 品牌型号 | SAMCO AD-230LP |
| 设备类别 | 等离子增强原子层沉积（PEALD） |
| 进出料结构 | 装载锁定式 |
| 反应特点 | 循环供源、表面自限制反应 |
| 原厂工艺方向 | AlN、SiN、AlOx、SiO₂ |
| 腔体设计方向 | 小型反应空间，缩短气体置换时间 |
循环沉积与等离子体反应
ALD利用表面反应逐步建立膜层，循环次数与工艺条件共同决定最终膜厚。AD-230LP将这一方式与等离子体结合，原厂工艺方向包括AlN、SiN等氮化物，以及AlOx、SiO₂等氧化物的低温沉积。
设备配有装载锁定室，主反应空间不必在每次进出料时直接经历完整的大气暴露。较小的反应空间有利于缩短前驱体和残余气体的置换时间，使循环步骤更紧凑。其工艺可涉及栅绝缘膜、表面钝化及相关保护膜层，具体材料对应相应供源配置。
联系我们
联系地址：深圳市宝安区新桥街道上寮社区上南上寮工业路18号汇聚新桥107创智园B座B201 咨询电话：17727597261 潘小姐 销售热线：0755-33177502电子邮箱：smt-sales3@gdxinling.cn
芯灵，为贴片机而生
贴片机一站式解决方案引领者
扫一扫 关注我们
扫码加微信咨询