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S-8640与S-8840是日立两款关键尺寸测量专用SEM，适合晶圆图形测长及工艺检查。两者按独立型号匹配电子光学、载台和控制配置，不共用未经核实的量程与精度参数。
日立原厂将S-8640和S-8840列为关键尺寸测量专用扫描电子显微镜。它们的任务是从电子图像取得尺寸数据，为晶圆图形工艺评价提供依据。
线宽测量需要定义测量位置、图形方向和边缘判断条件。同一工艺的重复比较，应保持测长配方一致，使图像与尺寸结果对应到具体结构。
S-8640与S-8840是两款独立设备。本款供货可分别对应原有机型，配套时保留各自的电子光学、晶圆承载及软件版本。
HITACHI S-8640与S-8840 CD-SEM线宽测量仪核心信息
| 项目 | 参数或配置 |
|---|---|
| 制造商 | Hitachi（日立） |
| 独立型号 | S-8640；S-8840 |
| 原厂产品定位 | 关键尺寸测量专用扫描电子显微镜 |
| 中文类别 | CD-SEM线宽测量仪 |
| 数据内容 | 电子图像及关键尺寸 |
| 配套内容 | 各型号对应的载台、搬送和控制部分 |
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