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半导体设备与配件

YAMADA WCM-330 MS手动晶圆塑封机

YAMADA WCM-330 MS手动晶圆塑封机

WCM-330MS支持液态、颗粒及片材树脂,手动操作配合自动送膜,处理8英寸、12英寸晶圆及最大330mm方形工件,锁模力49—833kN。

产品详情

液态、颗粒和片材三种树脂形式,可在 WCM-330 MS 上通过对应配置进行压缩成形。设备采用手动操作,送膜由自动机构完成,一次处理一片晶圆。

晶圆规格覆盖 8 英寸、12 英寸,另列有最大 330 mm 方形工件及相应不锈钢载板应用。上下 FAME 机构配合整面塑封,八阶段树脂流动控制用于分阶段管理填充过程。

伺服压机锁模力为 49—833 kN,具备相应 MUF 模塑底部填充应用能力。可更换模架配合不同产品,应用包括 FOWLP、FIWLP 等晶圆级封装。

标准机身深度为 1435 mm,整面塑封选配版本为 2000 mm,宽度和高度均为 2270 mm、2070 mm。

WCM-330 MS技术数据

项目数据
产品型号WCM-330 MS
操作方式手动晶圆压缩成形
晶圆规格8英寸、12英寸
方形工件上限330×330mm
树脂形式液态、颗粒、片材
锁模力49—833kN
压机驱动伺服电机
单次处理1片晶圆
送膜自动
流动控制8阶段
标准版尺寸宽2270×深1435×高2070mm
整面塑封选配版尺寸宽2270×深2000×高2070mm
重量标准版约4200kg;整面塑封选配版约4360kg
YAMADA WCM-330 MS手动晶圆塑封机立式机柜

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