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二手APIC YAMADA WCM-330晶圆塑封机

二手APIC YAMADA WCM-330晶圆塑封机

APICYAMADAWCM-330采用伺服驱动下压板,锁模力49—833kN,提供双装载口与四装载口版本,可选芯片计数、外观检测和后固化功能。

产品详情

WCM-330 将晶圆自动输送与压缩成形连接起来,提供双装载口和四装载口两种机身布局。晶圆接触区域设有防静电措施,输送机构兼顾相应翘曲晶圆的取放。

成形由伺服电机直接驱动下压板,锁模力范围为 49—833 kN。八阶段树脂流动控制与上下 FAME 机构配合整面塑封,液态、颗粒两类材料分别使用对应供料配置。

加工对象包括 8 英寸、12 英寸晶圆,以及相应不锈钢载板和 320 × 320 mm 玻璃面板。每个压机一次处理一片晶圆,配合相应模具完成晶圆级包封或 MUF 填充。

外观检测、芯片计数和后固化属于可选功能,分别与成形及后续处理衔接。

WCM-330技术数据

项目数据
产品型号WCM-330
成形方式全自动晶圆压缩塑封
晶圆规格8英寸、12英寸
玻璃面板320×320mm
材料形式液态、颗粒
锁模力49—833kN
合模方式伺服电机直接驱动下压板
单次处理1片晶圆/压机
流动控制8阶段
装载口短机身2口;长机身4口
短机身尺寸宽5165×深3405×高2360mm
长机身尺寸宽6365×深3405×高2360mm
可选功能芯片计数、外观检测、后固化、网络摄像
APIC YAMADA WCM-330

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