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KAIJO WBB-2000 12英寸晶圆凸点键合机

KAIJO WBB-2000 12英寸晶圆凸点键合机

KAIJO WBB-2000覆盖4、6、8和12英寸晶圆,采用热超声Stud Bump工艺,并提供晶圆级定位、图像识别及SECS/GEM通信功能。

产品详情
KAIJO WBB-2000 是全自动晶圆级热超声凸点键合设备,原厂列出的晶圆范围包括4、6、8和12英寸。通过引线成球与键合,在焊盘上形成Stud Bump金属凸点。

不同晶圆尺寸对应不同定位指标,原厂重复定位数据为8英寸3σ≤3.5μm、12英寸3σ≤5μm。实际凸点形貌还受到焊盘、线材、瓷嘴和断线工艺影响。

设备列有SECS/GEM通信。晶圆厚度、带环来料及吸盘条件需要与搬送方式匹配,边缘区域是否可加工也应结合具体装夹确认。

KAIJO WBB-2000 12英寸晶圆凸点键合机

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