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如果你见过指甲盖大小的芯片,大概很难想象它内部密密麻麻的电路是怎么被组装起来的。实际上,在芯片封装环节中,有一个关键步骤叫“固晶”——简单说,就是把切割好的微小裸芯片从晶圆上取下来,精确地“种”到基板或引线框架上,还要种得稳、种得准。完成这个任务的设备就是Besi固晶机。
Besi固晶机到底在做什么?
可以这样理解:一块晶圆上排列着成百上千颗芯片,它们被划片机切开后,依然贴在胶膜上。Besi固晶机的工作,就是把其中每一颗芯片单独拾取,移动到基板(比如引线框架、陶瓷基板或另一块芯片)的指定位置,再用粘接材料固定好。
这个过程看着简单,但实际难度不低——芯片很薄、很脆,尺寸可能只有几毫米甚至更小;同时它还要被放在一个精确到微米的位置上,因为后续的焊线或直接互联全靠这个定位精度打底。
Besi固晶机的工作流程是怎样?
Besi固晶机的作业流程可以拆解为三个核心环节:
第一步:看——视觉系统先“拍照定位”。 Besi固晶机配备了高精度的工业相机和镜头。在贴装头动作之前,视觉系统会快速拍下芯片和基板的图像,计算出两者的精确坐标和角度偏差。这一步相当于给设备装上了“眼睛”,确保它知道该去哪里取、该放到哪里。
第二步:取——吸嘴把芯片“吸”起来。 确认位置后,Besi固晶机的贴装头会带着特制的吸嘴移动到晶圆上方。吸嘴利用真空负压,像吸盘一样轻轻吸住芯片的背面,然后将其从胶膜上剥离。这个动作需要力度控制得非常精准,既要保证吸得起来,又不能压碎芯片。
第三步:放——贴装并完成粘接。 这是最核心的一步。Besi固晶机的贴装头带着芯片高速移动到基板上方,然后根据视觉系统事先算好的补偿值,微调角度和位置,精准地将芯片放到预定焊盘上。如果是环氧树脂工艺,基板在之前已经被点胶系统涂上了导电胶或绝缘胶,芯片放上去后稍作压合,就能完成固定;如果是共晶工艺,则需要在加热和一定压力下,让芯片与基板形成冶金结
如果你见过指甲盖大小的芯片,大概很难想象它内部密密麻麻的电路是怎么被组装起来的。实际上,在芯片封装环节中,有一个关键步骤叫“固晶”——简单说,就是把切割好的微小裸芯片从晶圆上取下来,精确地“种”到基板或引线框架上,还要种得稳、种得准。完成这个任务的设备就是Besi固晶机。
为什么Besi固晶机能贴得那么准?
这背后离不开几个关键系统的协同配合:
贴装头与运动控制系统:Besi固晶机的贴装头采用轻量化高刚性设计,配合直线电机和光栅尺等精密运动部件,能够实现极高的移动速度和定位精度。指令下达后,各轴几乎零延迟地同步动作,确保芯片“落”在规划好的位置。
点胶系统(针对粘接工艺):Besi固晶机的点胶阀需要精确控制胶水的流量和形状,既不能多到溢出污染焊盘,也不能少到粘不牢。
力控与温控系统:在贴装瞬间,Besi固晶机能够精确控制施加的压力,避免损坏芯片;对于共晶工艺,还需要精准控制温度场,确保焊料均匀融化。
不同场景,不同精度
值得一提的是,Besi固晶机的“精度”不是一个固定数字,而是根据不同封装需求有不同配置。比如用于通用封装的Esec 2100系列,注重速度和稳定性的平衡;而面向先进封装(如倒装芯片、热压键合、混合键合)的Datacon 8800系列,则可以实现更高的对位精度,甚至达到亚微米级别,以满足芯片堆叠和高密度互连的需要。
总之一句话:Besi固晶机就是一台高精度的“机器人”,通过视觉定位、真空拾取和精确贴装这三个动作的反复循环,把一颗颗微小的芯片稳稳地“种”到基板上,为后续的封装工序打下基础。整个过程在毫秒间完成,考验的是设备在速度、精度和稳定性之间的综合把控能力。


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