EO Technics ULA-200A二手激光退火设备

EO ULA-200A功率器件激光退火设备，主要方向包括SiC欧姆接触中的镍硅化物形成与IGBT背面激活。激光光学、能量分布及晶圆承载共同构成对应工艺配置。

产品详情

ULA-200A将激光热处理应用于功率器件，主要方向包括SiC欧姆接触中的镍硅化物形成，以及IGBT背面掺杂激活。这两类任务分别涉及接触界面反应和掺杂层处理。

SiC接触工艺

激光热作用促进镍层与SiC之间发生相应反应，形成目标接触结构。金属膜厚、表面洁净度与材料堆叠共同影响工艺条件，处理结果关注接触电阻和界面状态。

IGBT背面激活

背面掺杂层接受激光产生的热作用，完成相应激活。处理需要兼顾目标层与已有器件结构；对于减薄晶圆，承载、翘曲和搬送条件也参与照射过程。

ULA-200A平台还列有结晶功能，并提供不同波长与光学方案、光束整形及实时过程监测。激光能量分布与晶圆处理系统共同组成完整工艺条件。

EO Technics ULA-200A功率器件激光退火机

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