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AFT2100通过光谱反射测量透明薄膜厚度，小光斑便于在图形化晶圆的局部区域取点。原厂资料列有多种晶圆尺寸及200mm选项，膜厚结果由材料光学模型计算。
AFT2100适合透明薄膜的局部厚度测量。它记录反射光随波长的变化，结合膜层与基底的光学参数计算膜厚，测量过程中无需触针划过表面。
小光斑是这款NanoSpec机型的一项特点。针对图形化晶圆，可把测量位置放在合适的膜层区域，减少相邻结构进入光斑的影响。
测量范围与光学配置
一版原厂资料列出400～800nm波段、100Å～50μm膜厚范围及6.5～65μm光斑。范围是否适合实际膜层，还与材料透明性、折射率及测量程序有关。
平台列有75、100、125、150mm晶圆配置，200mm为选项。不同年代资料的波段、物镜和范围存在差异，二手机需对应具体光学版本。
NANOMETRICS AFT2100膜厚测量仪核心信息
| 项目 | 参数或配置 |
|---|---|
| 制造商 | Nanometrics |
| 系列及型号 | NanoSpec/AFT 2100 |
| 测量方式 | 光谱反射及薄膜干涉分析 |
| 适用膜层 | 满足光学模型条件的透明薄膜 |
| 原厂资料波段 | 400～800nm，该资料版本 |
| 原厂膜厚范围 | 100Å～50μm，依材料和程序 |
| 晶圆配置 | 75/100/125/150mm，200mm为选项 |
| 测量光斑 | 6.5～65μm，随光学配置 |
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