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KLA TENCOR P-2是接触式台阶仪，通过触针位移形成一维轮廓，读取台阶高度及表面起伏。配方控制扫描过程，数据整平和相应轮廓分析适合薄膜与刻蚀工艺检查。
TENCOR P-2从表面轮廓直接读取高度差。与依赖材料光学模型的测厚不同，台阶测量需要扫描经过可识别的高低区域，因此样品应具备合适的参考面。
测量时，触针与样品接触，扫描设置控制采样长度、速度和方向。曲线可整平后比较台阶，也可进入粗糙度及波纹度分析，具体输出随程序设置。
这款二手台阶仪的关键配套是触针、测量头、载台及控制部分。针尖状态和测力需要结合样品材料检查，避免表面过软导致轮廓失真。
KLA TENCOR P-2台阶仪核心信息
| 项目 | 参数或配置 |
|---|---|
| 品牌 | Tencor / KLA-Tencor |
| 型号 | P-2 / P2 |
| 技术类型 | 接触式触针轮廓测量 |
| 主要数据 | 台阶高度及表面轮廓 |
| 分析内容 | 原始轮廓、粗糙度及波纹度，按程序 |
| 扫描设置 | 长度、速度、采样率、方向及多次扫描 |
| 测量条件 | 触针、测力及样品表面状态 |
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