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ECO 1000通过傅里叶红外光谱分析晶圆及薄膜的光谱特征，配合材料模型与标定开展工艺分析。NICOLET平台的反射、透射测量路径及软件配置，可按具体机台核对。
晶圆上的薄膜除了厚度，还有材料成分与化学键状态需要分析。ECO 1000通过FTIR获取红外光谱，为材料识别及相关工艺分析提供数据。
样品对不同波数红外光的响应形成光谱特征。分析时，需要结合背景光谱、膜层结构和相应标定，判断吸收峰或反射特征所代表的材料信息。
光谱测量与样品配套
ECO系列有透射、反射测量应用，具体光路与探测器需要对应机台版本。晶圆定位、样品固定和测量软件共同影响可执行的分析任务。二手设备配套应保留相应控制及分析环境，便于衔接既有材料分析程序。
NICOLET ECO 1000 FTIR测量仪核心信息
| 项目 | 参数或配置 |
|---|---|
| 品牌系列 | NICOLET，现属Thermo Scientific相关产品体系 |
| 型号 | ECO 1000 |
| 测量技术 | 傅里叶变换红外光谱（FTIR） |
| 分析对象 | 晶圆及可适配固体样品 |
| 配套项目 | 样品台、光路、探测器及分析软件 |
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