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半导体设备与配件

YAMADA LPM-600大面板自动压缩塑封机

YAMADA LPM-600大面板自动压缩塑封机

LPM-600支持最大620×620mm面板自动压缩塑封,配有视觉定位、预热和动态夹持,可用颗粒或液态树脂,并设有面板背面清洁功能。

产品详情

620 × 620 mm 大面板可在 LPM-600 上整板进行压缩塑封。玻璃载板、金属载板、覆铜板和有机基板均在其加工材料范围内,树脂可选颗粒或液态形式。

面板进入成形工位前,通过图像识别定位,预热与动态夹持配合处理翘曲及脆性材料。背面清洁为标准功能,用于减少残留颗粒在压合时造成的裂纹和压痕。

压机由伺服电机直接驱动下压板,锁模力为 49—1764 kN。厚度总变化量 TTV 可进行微米级调节,最小设定值为 1μm。

设备使用上模腔、面朝上的成形方式,支撑较重或翘曲面板。自动上下料提供输送线和 EFEM 两类配置,输送线支持 SMEMA 接口,工艺监控与控制功能配合连续成形。

LPM-600技术数据

项目数据
产品型号LPM-600
成形方式全自动大面板压缩塑封
最大面板620×620mm
单次处理1块面板
树脂形式颗粒、液态
锁模力49—1764kN
合模方式伺服电机直接驱动下压板
TTV调节最小设定值1μm,非成品精度保证值
定位图像识别对位
背面清洁标准配置
上下料配置输送线或EFEM;输送线支持SMEMA
电源三相AC200V,50/60Hz
YAMADA LPM-600大面板塑封机横向机组布局

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