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半导体设备与配件

ASAHI COSMO-Sinter热压烧结设备

ASAHI COSMO-Sinter热压烧结设备

COSMO-Sinter通过加热与压力完成烧结,浮动机构补偿基板或芯片高度差。平台有40t、120t方案,最高温度350°C,并以薄膜保护和受控冷却衔接加工。

产品详情

同一基板上的芯片如果存在高度差,刚性压头可能让各位置承受不同载荷。COSMO-Sinter通过浮动补偿管理这种差异,在加热、加压过程中维持合适的接合条件。

原厂平台包含40t单托盘和120t双托盘方向,120t版本可扩展至最多4个压机单元。最高温度为350°C,实际烧结温度和压力需与材料及接合面积配合。

高度补偿与冷却同样参与接合

液压浮动结构补偿基板厚度变化,芯片独立浮动方案则应对同一基板不同位置的高度差。薄膜辅助机构提供表面保护,冷却单元配合温度监测,减少加工后温度变化带来的应变。

氮气供应、氧浓度测量、脱气与独立烧结压力测量属于原厂选项,追溯及SECS/GEM也可按配置扩展。

COSMO-Sinter核心数据

项目产品信息
工艺热压烧结
平台压力方案40t或120t机型
原厂最高温度350°C
材料承载托盘与料盒
结构特点浮动补偿、薄膜保护及冷却
可选功能氮气、氧浓度监测、压力测量、追溯等
ASAHI COSMO-Sinter热压烧结设备整机外观

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